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3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求
3.1 一般規(guī)定
3.1.1 電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì),同時還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。
3.1.2 生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求,對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。
3.1.3 潔凈室(區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置,其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。
3.1.4 潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等性能測試和認(rèn)證應(yīng)符合本規(guī)范附錄D的要求。
3.2 生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求
3.2.1 潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
潔凈室(區(qū))設(shè)計時,空氣潔凈度等級所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài))應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。
3.2.2 各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定;無要求時,可按本規(guī)范附錄A確定。
3.2.3 潔凈室(區(qū))的溫度和相對濕度應(yīng)按表3.2 3確定。
3.2.4 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需純水水質(zhì)、氣體及化學(xué)品的純度和雜質(zhì)含量等應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。
3.2.5 單向流和混合流潔凈室(區(qū))的噪聲級(空態(tài))不應(yīng)大于65dB(A),非單向流潔凈室(區(qū))的噪聲級(空態(tài))不應(yīng)大于60dB(A)。
3.2.6 潔凈室(區(qū))的微振動控制設(shè)計應(yīng)滿足精密設(shè)備、儀器的振動容許值要求。無要求時,可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。
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