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光刻潔凈車間為何選擇黃光?

文章作者:  文章來源:本站  點(diǎn)擊: 43792次  時(shí)間:2024-04-01 10:25:39

  光刻,作為集成電路(IC或芯片)制造的核心工藝之一,其本質(zhì)是通過光掩膜和光刻膠在基板上精確地復(fù)制電路圖案。在此過程中,基板會被涂覆上硅二氧化層絕緣層和光刻膠。光刻膠的特性是在受到紫外光照射后,能夠輕易地被顯影劑溶解。經(jīng)過這一步驟及隨后的腐蝕處理,電路圖案便永久地留在基板上。

潔凈室圖片

  無塵室,或稱潔凈室,是一個(gè)經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)以排除空氣中微塵粒子等污染物的環(huán)境。這種高度潔凈的環(huán)境對于眾多高精度制造產(chǎn)業(yè)至關(guān)重要,尤其是半導(dǎo)體制造業(yè)。在這一領(lǐng)域,對室內(nèi)的溫濕度和潔凈度要求極為嚴(yán)格,因?yàn)檫@些因素會直接影響到制程的質(zhì)量和效率。

  在光刻區(qū),為何偏偏選擇黃光呢?這背后有著深刻的科學(xué)原理。光刻膠的感光范圍通常位于200nm至500nm之間,這意味著只有在這個(gè)特定波長范圍內(nèi)的光線才能引發(fā)光刻膠的化學(xué)反應(yīng)。而在這個(gè)范圍內(nèi),紫外線、紫光和藍(lán)光由于可能對制程產(chǎn)生不利影響,因此在光刻區(qū)是嚴(yán)格禁止使用的。

  黃光之所以受到青睞,首先是因?yàn)槠洳ㄩL較長,不易引發(fā)光刻膠的化學(xué)反應(yīng),從而保證了制程的穩(wěn)定性。其次,黃光相比其他顏色的光更為柔和,不易在設(shè)備或晶圓表面產(chǎn)生刺眼的反射或眩光,這對于保護(hù)操作人員的視力極為重要。此外,黃光還能確保光刻過程中使用的顏色敏感的化學(xué)品或其他材料的顏色不受其他光源的干擾或失真。

光刻潔凈室圖片

  特別值得一提的是,專為光刻設(shè)計(jì)的無紫外線T8 1.2m黃光LED燈管,它不僅可以直接替換傳統(tǒng)的T8熒光燈管,而且具備出色的紫外線保護(hù)功能,能有效阻擋500納米以下的紫外線波長。這種燈管還擁有穩(wěn)定的質(zhì)量、過熱、過流和短路保護(hù)等多重安全特性,以及長達(dá)50,000小時(shí)的使用壽命。選擇這樣的燈管,不僅確保了光刻制程的穩(wěn)定性和效率,也為操作人員提供了一個(gè)更為舒適和安全的工作環(huán)境。


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