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光刻,作為集成電路(IC或芯片)制造的核心工藝之一,其本質(zhì)是通過(guò)光掩膜和光刻膠在基板上精確地復制電路圖案。在此過(guò)程中,基板會(huì )被涂覆上硅二氧化層絕緣層和光刻膠。光刻膠的特性是在受到紫外光照射后,能夠輕易地被顯影劑溶解。經(jīng)過(guò)這一步驟及隨后的腐蝕處理,電路圖案便永久地留在基板上。
無(wú)塵室,或稱(chēng)潔凈室,是一個(gè)經(jīng)過(guò)特殊設計以排除空氣中微塵粒子等污染物的環(huán)境。這種高度潔凈的環(huán)境對于眾多高精度制造產(chǎn)業(yè)至關(guān)重要,尤其是半導體制造業(yè)。在這一領(lǐng)域,對室內的溫濕度和潔凈度要求極為嚴格,因為這些因素會(huì )直接影響到制程的質(zhì)量和效率。
在光刻區,為何偏偏選擇黃光呢?這背后有著(zhù)深刻的科學(xué)原理。光刻膠的感光范圍通常位于200nm至500nm之間,這意味著(zhù)只有在這個(gè)特定波長(cháng)范圍內的光線(xiàn)才能引發(fā)光刻膠的化學(xué)反應。而在這個(gè)范圍內,紫外線(xiàn)、紫光和藍光由于可能對制程產(chǎn)生不利影響,因此在光刻區是嚴格禁止使用的。
黃光之所以受到青睞,首先是因為其波長(cháng)較長(cháng),不易引發(fā)光刻膠的化學(xué)反應,從而保證了制程的穩定性。其次,黃光相比其他顏色的光更為柔和,不易在設備或晶圓表面產(chǎn)生刺眼的反射或眩光,這對于保護操作人員的視力極為重要。此外,黃光還能確保光刻過(guò)程中使用的顏色敏感的化學(xué)品或其他材料的顏色不受其他光源的干擾或失真。
特別值得一提的是,專(zhuān)為光刻設計的無(wú)紫外線(xiàn)T8 1.2m黃光LED燈管,它不僅可以直接替換傳統的T8熒光燈管,而且具備出色的紫外線(xiàn)保護功能,能有效阻擋500納米以下的紫外線(xiàn)波長(cháng)。這種燈管還擁有穩定的質(zhì)量、過(guò)熱、過(guò)流和短路保護等多重安全特性,以及長(cháng)達50,000小時(shí)的使用壽命。選擇這樣的燈管,不僅確保了光刻制程的穩定性和效率,也為操作人員提供了一個(gè)更為舒適和安全的工作環(huán)境。
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